半導體廠節能減碳落地新攻略研討會特別報導
迎戰碳有價時代 半導體廠節能多管齊下(2)
全球氣溫和減碳議題的討論熱度同步升高，隨著半導體廠用電量持續成長，業者需要兼顧減碳要求，才能在淨零浪潮中站穩腳步，甚至進一步發掘全新商業機會。 製程化學品秀新招 異丙醇開啟循環經濟 (承前文)面對減碳壓力，半導體廠除了可以導入能源管理系統並提升自動化等級實現關燈工廠，製程中所使用的化學品也暗藏減碳契機。LCY李長榮電子材料事業處副總經理陳立言(圖5)說明，異丙醇同時具備清水性及疏水性的特色，使其適合用作半導體製程中的清洗劑，而隨著製程節點持續微縮，異丙醇的用量也同步提高，例如三奈米的異丙醇用量便大概是五奈米的1.3倍。...
》想看更多內容？快來
【免費加入會員】或
【登入會員】，享受更多閱讀文章的權限喔！
